NFC國立交通大學奈米中心公共安全 

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公  共  安  全

項目

表格下載
相關辦法與規定

1.工安課程線上報名系統

2.實驗室安全衛生工作守則

3.違規懲處條列

4.毒性化學藥品物專區

5.化學物品處理注意事項

6.外語人員進出入奈米中心潔淨室管理辦法

7.潔淨室佩帶感應磁卡(Tag)管理辦法

8.安全衛生管理規章

9.安全衛生政策

10.廠商工作證申請辦法

11.承攬商安全衛生管理辦法

12.化學藥品或氣體攜入及存放申請作業程序

 

 

申請表

1.工作許可證表單

2.承攬商施工切結書

3.化學藥品或氣體攜入及存放申請表

4. 特殊製程申請表

5.調閱門禁及錄影資料申請表

6.實驗室物料暫放標籤

 

 

 

 

緊急應變架構
&相關計劃書

1.固態電子大樓緊急應變組織架構

2.固態電子系統大樓危害通識計劃書

3.固態電子大樓緊急應變變計畫書

4.毒化物緊急應變計劃書

化學藥品

之MSDS

黃光室:

1.正光阻 FH6400

3.負光阻 HR-200

4.正光阻 AZ6112  

5.正光阻 AZ P4620

6.正光阻 AZ5214E

7.顯影液  FHD 5(FH 6400)

8.顯影液  AZ 300MIF DEVELOPER(AZ 6112)

9.顯影液  AZ 400K

10.顯影液  DEVELOPER

11.負光阻顯影液  WNRD

12.正光阻稀釋液 AZ_5200

13.負光阻定影液  NBA

14.氯苯  Chlorobenzene

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

其它藥品:

1.(電子級)丙酮  ACETONE

2.(電子級)硫酸  SULFURIC ACID

3.(電子級)鹽酸  HYDROCHLORIC ACID

4.(電子級)硝酸  NTTRIC ACID

5.磷酸86%  PHOSPHORIC ACID

6.氟化氫  HYDROGEN FLUORIDE

7.氯化氫 HYDROGEN CHLORIDE

8.異丙醇  ISOPROPYL ALCOHOL

9.氨水  AMMONIA SOLUTION

10.氧氯化磷  PHOSPHORUS OXYCHLORIDE

11.甲醇  METHYL ALCOHOL  

12.冰醋酸  ACTIC ACID    

13.BORON HYDRIDE     

14.CHLOROSILANE

15.氫氣  HYDROGEN  

16.氦氣  HELIUM

17.氧氣  OXYGEN

18.一氧化二氮  NITROUS OXIDE

19.過氧化氫 HYDROGEN PREOXIDE  

20.SHIELDING GAS MIXTURE

     (FOR WELDING PROCESSES)

21.矽甲烷  SILANCE     

22.二矽乙烷  DISILANCE

23.無水氨氣  AMMONIA

24.二氯矽甲烷  DICHLOROSILANCE

25.氯苯  Chlorobenzene

26.二氧化矽蝕刻液BUFFERED OXIDE ETCH

27.蝕刻液(酸洗液)

28.氫氟酸

奈米中心設備

之SOP

其它:

1.石英管

2.氧化擴散 

3.PECVD

4.Wafer Clean

5.LPCVD

6.Sputter

7.熱阻絲蒸鍍

8.雙電子蒸鍍

9.RTPCVD

黃光室:

1.Aligner  

2.IR 

3.Spin_ Coater 

4.Hot_Plate   

5.HMDS烤箱  

6.Wet Bench顯影、定影