NFC奈米中心人員簡介        

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主任

技術 一組

(微影、蝕刻)

 

胡進章 組長 陳明麗 小姐 蔡慶祥 先生 范秀蘭 小姐 黃國華 先生
趙建允 先生        

 

 

組代表

胡進章先生

工作項目

協調技術一組相關事務

Poly-RIE、RIE200L、HDP-RIE、P5000E等系統操作、維護、管理。

英文姓名

Hu, Jack

E-mail

jackhu@faculty.nctu.edu.tw 

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55607

實驗室 : 03-5712121轉55666

傳真

03-5724241

負責之設備

複晶矽活性離子蝕刻系統(Poly-Si RIE)

介電材料活性離子蝕刻系統(RIE 200L)

高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE)

多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)

矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)

職務代理人

蔡慶祥先生 (1代理人)

范秀蘭小姐 (2代理人)

 

陳明麗小姐

工作項目

Poly-RIE、RIE200L、HDP-RIE、P5000E等系統操作。

英文姓名

Chen, Ming-Li

E-mail

mlchen@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55660

實驗室 : 03-5712121轉55666

傳真

03-5724241

負責之設備

複晶矽活性離子蝕刻系統(Poly-Si RIE)

介電薄膜活性離子蝕刻系統(Die-electric Material RIE 200L)

高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE)

多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)

矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)

職務代理人

蔡慶祥先生 (1代理人)

 

蔡慶祥先生

工作項目

i-line Stepper系統操作、維護、管理。

雷射光罩製作系統 Ⅱ操作、維護、管理。

英文姓名

Tsai, Ching-Hsiang E-mail chtsai@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55605  

實驗室 : 03-5712121轉55616 

傳真 03-5724241

負責之設備

光學步進機系統(i-line Stepper)

雷射光罩製作系統 Ⅱ(雷射圖形產生系統Ⅱ) (Laser Pattern Generator(DWL-200))

職務代理人

黃國華先生 (1代理人)

 

范秀蘭小姐

工作項目

SEM系統、展阻量測系統作管理及維護

英文姓名

Fan, Hsiu-Lan E-mail lan0808@mail.nctu.edu.tw  

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55672

實驗室 : 03-5712121轉55337(SEM SU-8010)

                                   55676 (SEM  S-4700I)

 

傳真 03-5724241

負責之設備

高解析度場射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀(SEM S-4700I)
(High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer)

冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器(SEM SU-8010)

(Cold Field Emission Scanning Electron Microscope (Hitachi SU8010) & Energy Dispersive Spectrometer)
展阻量測系統(Spreading Resistance Probe System)
 

職務代理

胡進章先生  (1代理人)

陳明麗小姐  (2代理人)

 

 

黃國華先生

工作項目

雷射光罩製作系統 Ι  (雷射圖形產生系統 Ι)  (Laser Pattern Generator)光罩複製機(Mask Printer)操作、維護、管理。

英文姓名

Huang, Guo-Hua E-mail guohua@mail.nctu.edu.tw 

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55659

實驗室 : 03-5712121轉55667

                                or55609

傳真 03-5724241

負責之設備

雷射光罩製作系統 Ι  (雷射圖形產生系統 Ι)  (Laser Pattern Generator)

光罩複製機(Mask Printer)

職務代理人

陳明麗小姐(1代理人)

胡進章先生 (2代理人)

 

趙建允 先生

工作項目

黃光室系統操作、維護、管理與O3 去光阻機操作、維護、管理。

英文姓名

 Chao , Jerry E-mail jychaoa@nctu.edu.tw 

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55670

實驗室 : 03-5712121轉55667

傳真 03-5724241

負責之設備

雙面光罩對準曝光機(Double Side Mask Aligner)

光罩對準曝光機 (Mask Aligner)

光阻塗佈機 (Photo Resist Spinner)

真空烤箱(Vacuum Oven)

光學顯微鏡(Optical Microscope)

職務代理人

蔡慶祥先生(1代理人)

范秀蘭小姐(2代理人)

儀器管理委員
儀器管理顧問
行政組
技術一組
技術二組
廠務組
工安
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