NFC奈米中心人員簡介        

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主任

儀器管理委員(依筆劃順序排列)

吳耀銓教授 林鴻志教授 侯拓宏教授 崔秉鉞教授 陳冠能教授
李佩雯教授 劉柏村教授 趙天生教授 鄭裕庭教授 顏順通教授

 

吳耀銓教授

材料系所之[個人網頁]

專長學科

薄膜電晶體、晶圓接合、光電半導體元件、III-V 族磊晶技術、蛋白質晶體成長

英文姓名

Wu, Yew-Chung E-mail sermonwu@faculty.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉31555 傳真 03-57247271

儀管委員
負責之工作

聚焦離子束與電子束顯微系統(FIB)

 

林鴻志教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

CMOS元件可靠性分析先進奈米元件結構設計與製造薄膜元件製作與分析

英文姓名

Lin, Horng-Chih E-mail hclin@faculty.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉54193 傳真 03-5724361

儀管委員
負責之工作

四點探針(4-point Probe)

電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)

 

侯拓宏教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

奈米記憶體元件分子電子元件奈米製程技術半導體元件物理

英文姓名

Hou, Tuo-Hung (Alex)

E-mail

 thhou@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉54261

傳真

03-5724361

儀管委員
負責之工作

光學步進機(I-line stepper)

光罩複製機(Mask Repeater)

光阻處理系統&光阻塗佈機(Spinner)

光罩對準曝光機(Mask Aligner)

紅外線光罩對準曝光機(IR Aligner)

紫外光臭氧去光阻機(UV Ozone Dry Stripper)

 

 

崔秉鉞教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

半導體物理與元件、積體電路製程
電信量測分析

英文姓名

Tsui, Bing-Yue

E-mail

 bytsui@cc.nctu.edu.tw  

聯絡電話

03-5712121轉31570

傳真

03-5724241

儀管委員
負責之工作

濕式工作台(Wet Bench)

多腔體電漿蝕刻系統 (P5000E)

介電薄膜活性離子蝕刻系統 (RIE 200L)

橢圓測試儀(Ellipsometer)

薄膜測厚儀(Surface Profile)

 

 

陳冠能教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

三維積體電路 (3D IC)

晶圓接合技術

矽晶直通孔 (TSV)

晶圓薄化技術

異質整合技術及元件

英文姓名

Chen, Kuan-Neng

E-mail

knchen@mail.nctu.edu.tw  

聯絡電話

03-5712121轉31558

傳真

03-5724361

儀管委員
負責之工作

複晶矽活性離子蝕刻系統 (Poly-Si RIE)

高密度活性離子蝕刻系統 (HDP-RIE)

矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE)

博愛校區負責人

 

 

奈米中心主任

李佩雯教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

奈米電子工程半導體物理元件積體電路製程設計

英文姓名

Li, Pei-Wen

E-mail

 pwli@nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉55601 or  54210

傳真

03-5724361

儀管委員
負責之工作

24小時申請案

原子層沈積系統(ALD)

 

 

 

劉柏村教授

光電系所之[個人網頁]

專長學科

積體電路與系統、半導體材料與元件、光電與薄膜技術

英文姓名

Liu, Po-Tsun E-mail ptliu@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉52994 傳真 03-5737681

儀管委員
負責之工作

氧化擴散系統(Oxidation & Diffusion Furnances)

低壓化學沉積系統(LPCVD)

 

趙天生教授

電子物理系所之[個人網頁]

專長學科

深次微米前段元件製程半導體晶圓潔淨技術DTMOS元件的製作和可靠性分析

超薄絕緣層製備  半導體元件物理PMOSFET的NBTI量測與分析

奈米元件製作   高介電常數材料在電晶體元件應用

英文姓名

Chao, Tien-Sheng

E-mail tschao@mail.nctu.edu.tw 

聯絡電話

03-5712121轉31367 傳真 03-5725235

儀管委員
負責之工作

雷射光罩製作系統Ι (DWL_2.0)
雷射光罩製作系統Ⅱ (DWL-200)

全光譜反射式膜厚量測儀(Reflectometer)

 

鄭裕庭教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

微光機電、奈米科技、系統封裝

英文姓名

Cheng, Yu-Ting E-mail ytcheng@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉54169 傳真 03-5724361

儀管委員
負責之工作

熱蒸鍍系統----1.熱阻絲蒸鍍系統(Thermal Evaporation Coater)

                          2.雙電子槍蒸鍍系統(Dual E-Gun-Evaporater)

真空濺鍍系統(Sputtering System)A、B兩部

 

顏順通教授

電子工程系所之[個人網頁]

專長學科

半導體物理、量子元件物理

英文姓名

Yen, Shun-Tung E-mail styen@cc.nctu.edu.tw

聯絡電話

03-5712121轉31471 傳真 03-5733722

儀管委員
負責之工作

高解析度場射掃描電子顯微鏡(S-4700I)(High-Resolution Scanning Electron Microscope& EDS)

展阻量測分析儀(Spreading Resistance Profile)

儀器管理委員
儀器管理顧問
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