NFC奈米中心人員簡介        

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主任

技術 二組

(高溫、薄膜)

 
林聖欽 組長 倪月珍 小姐 范揚禎 先生 賴文言 先生 詹佳期 先生 
劉悅恩 小姐 巫吉原 先生      

組代表

 

林聖欽 先生

工作項目

協調技術二組相關事務

        氧化擴散系統、熱阻絲蒸鍍系統、雙電子槍蒸鍍系統操作、維護管理。

        晶片共同採購

英文姓名

Lin, Sheng Chin E-mail ck1325@faculty.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55668

實驗室 : 03-5712121轉55610

傳真 03-5724241

負責

之設備

氧化擴散系統(Oxidation & Diffusion Furnances)

雙電子槍蒸鍍系統(Dual E-Gun Evaporation System)A、B兩部

阻絲蒸鍍系統(Thermal Evaporation Coater)

職務
代理人

賴玟言先生  (1代理人)

倪月珍小姐  (2理人)

 

 

倪月珍小姐

工作項目

原子層化學氣相沉積系統(ALD)及真空濺鍍系統(Sputtering System)B操作、維護 及管理

氦氣測漏儀操作、維護及管理

英文姓名

Ni, Yuech Chen E-mail ycni@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55669

實驗室 : 03-5712121轉55616

傳真 03-5724241

負責之設備

原子層化學氣相沉積系統(ALD)。

真空濺鍍系統(Sputtering System)B

氦氣測漏儀

職務代理人

詹佳期先生 (1代理人)

范揚禎先生(2代理人)

 

 

范揚禎先生

工作項目

化學藥品、顯影液採購、無塵室口罩、手套採購管理、現場供應、巡查、盤點等作業。

廢液統計、回收等作業

廠務氣體設備巡查抄表、狀況回報

公文、信件傳遞收送

無塵衣整理

英文姓名

Fan, Yang-Chen

E-mail

joseph@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55671

實驗室 : 03-5712121轉55616

傳真

03-5724241
職務代理人

                        (1代理人)

賴玟言先生  (2代理人)

  

劉悅恩小姐

工作項目

聚焦離子束與電子束顯微系統(FIB/SEM Dual beam System)操作、維護、管理

英文姓名

Liu, Yueh-En E-mail graceful@mail.nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55658

實驗室 : 03-5712121轉55368

傳真 03-5724241

負責之設備

聚焦離子束與電子束顯微系統

Dual beam (focused ion beam & electron beam) System (FIB/SEM)

職務代理人

林聖欽先生 (1代理人)

賴玟言先生 (2代理人)

 

賴玟言先生

工作項目

Wet Bench系統操作。

電漿輔助化學氣相沉積系統 四點探針全光譜反射式膜厚量測儀、製程維護及操作管理

LPCVD系統操作、維護、管理。

英文姓名

Lai, White E-mail white@nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55606

實驗室 : 03-5712121轉55616

傳真 03-5724241

負責之設備

濕式工作台(Wet Bench)

低壓化學沉積系統(LPCVD)

電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)

四點探針(4-point Probe)

全光譜反射式膜厚量測儀(Reflectometer)

職務代理人

范揚禎先生 (1代理人)

林聖欽先生 (2代理人)


詹佳期先生

工作項目

1.原子層化學氣相沉積(ALD)系統之操作、維護、管理、諮詢與製程開發。
2.化學氣相沉積(LPCVD)系統之操作、維護、管理、諮詢與新技術開發。
3.奈米電子領域相關之研究與貴重儀器相關研發。

4.真空濺鍍系統(Sputtering System)A

5.橢圓測試儀製程維護及操作管理

英文姓名

Chan, Chia-Chi E-mail chiachichan@nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55622

實驗室 : 03-5712121轉55608/55610

傳真 03-5724241

負責之設備

真空濺鍍系統(Sputtering System)A

橢圓測試(Ellipsometer)

原子層化學氣相沉積系統(ALD)操作、維護 及管理、諮詢與製程開發

低壓化學沉積系統(LPCVD)操作維護 及管理、諮詢與製程開發

職務代理人

倪月珍小姐 (1代理人)

           (2代理人)



巫吉原先生 

工作項目

1.真空濺鍍系統(Sputtering System)B操作、維護、管理、諮詢與製程開發。
2.熱阻絲蒸鍍系統之操作、維護、管理、諮詢與新技術開發。
3.雙電子槍蒸鍍系統之操作、維護、管理、諮詢與新技術開發

英文姓名

Wu, Chi-Yuan   E-mail chiyuan_wu@nctu.edu.tw

聯絡電話

辦公室 : 03-5712121轉55657

實驗室 : 03-5712121轉55608

傳真 03-5724241

負責之設備

真空濺鍍系統(Sputtering System)B阻絲蒸鍍系統、雙電子槍蒸鍍系統操作、維護管理。

職務代理人

 (1代理人)

 (2代理人)

儀器管理委員
儀器管理顧問
行政組
技術一組
技術二組
廠務組
工安
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