國交通大學奈米中心

 場發射掃描電子顯微鏡簡易操作步驟

        ★★請每天第一位上機者做Flashing時要注意看Ie數字20 ~40uA 左右即正常  0 則再做一次,直至ON

                在較低電壓目前是3.8 KV做一次Flashing可維持12小時只有在螢幕顯示please Flashing影像不清

                 時才需HV OffFlashingFlashing也會對燈絲造成傷害,沒有必要請勿做

            1. 先確定IP3真空,正常維持在2~3*10-6  或更低,大於5*10-6 ,暫停使用。

       2. 確定 CHAMBER閥門MV1是關的CHAMBER板手置於S.E.CAir破真空。

       3. Sample鎖在拉桿上(螺蚜要對準再鎖10次以上,以免久而久之螺蚜歪了)

       4. 手押SEC CHAMBER,按EVAC抽真空,等SEC綠燈並抽至2X100,送入Sample

        ★ 5. 注意Stage離開扣環時S.E.C沒漏氣才可開MV1閥門(此時手要固定拉桿,以免被吸入撞到門) ,小心

                 推入確定Stage已固定在基座上才可將拉桿旋鬆拉出(SAMPLE掉在CHAMBERor將拉桿拉歪者永

                 久不得預約)

           6. 拉桿一出CHAMBER先關閥門,再拉出確定扣環鎖住,拉桿進出扣環不要用力,順勢平行往後或稍微

                   旋轉帶動即可,注意使力不對會造成真空變差。

        7. 確定SC真空OK (~ L*10-3 )

       8. HV Control ON,請熟悉軟體操作。

       9. 調FOCUS時若影像有左右斜角晃動,代表beam歪了,可叫出Column  Alignment

        10. Alignment使用方法(XY STIGMA調整,在高倍率做) :先將影像調到最佳

        11. 當圖像越來越不清楚時,若電流太低重新按SET (Vext也同時上升)

        12. 高倍率影像不清楚可調整XY Stigma1次調1個旋鈕,視focus狀況勿偏差太多,最清楚狀態調整下一

              個旋鈕,再回來調focus,三個鈕交替調整,如此可確保beam 不會被調歪。若重複調整後仍不清楚,則

              先做校正。(不同Vacc切換,beam也可能跑掉,而需做Alignment)

       ★13. 使用完畢,請將stageX軸調至12.5Y軸調至12.5ΘTilt調至0度。

        14. HV Off,開CHAMBER閥門。

        15. 小心推入拉桿,並確定STAGE已鎖緊在拉桿上才可將Sample拉出。

        16. Sample一出CHAMBER口先關MV1閥門拉桿扣環鎖住破真空取出Sample

        17.若沒有要再看的Sample時,按EVAC 抽真空,確定已抽真空再離開。

        18.離開前請縮小視窗,關閉螢幕,確實填寫記錄表,檢查Pt sputter 是否關閉

   19.用完未登記者,經發現將受處罰。(夜間有執照者要注意)                                                             20090917陳聯珠