EDS 簡易操作手冊                                             

更新日期:20090917

            1、  EDS電腦週邊電源 ( 插後方牆壁110v插座 ) ,開地上主機背面開闢

            2、  依螢幕指示操作 : F1,電腦之Username : vantage ;  Password : 4x-rays

            3、  開機後注意訊息視窗,若此時電腦發出嗶嗶聲,是沒有液態氮了; 檢查一些參數 : Spectral display 中間

                  右側PHA,若是0100 、或數字不會跳動,即PC與主機未連線 , 則關掉重新開機 ( 非按restart )

            4 SEM S-4700設定 :

(a)  Detector調至4.5位置

     (b)  ANALYSIS之下拉視窗 ANALYSIS mode 設為 ON

(c)  叫出         COLUMN SETUP ANALYSIS

 (d)  15KV,找到要分析的部位選擇Scan modeFREEZE

            5 偵測時PHA Deadtime值要大於25%正負5% ,才測得到較準確的數據,膜太薄偵測量太少 , 有些少量元素可

                   能偵測不到 , 可試著將Sample Tilt一個角度 ; 訊號太強 ( PHA值太高 ) 可稍為退後Detector或降低電壓 ,

                    sample counts 最好取一樣,參考值比較一致

             6  熟悉軟體各項功能 : 步驟依序為圖示 (1) 開始 --–內定100 (2) 停止 (3) 繼續 (6) 自動找出元素 (4) 手動找

                      出訊號太弱,沒有顯示元素或修正同位元素 (9) 元素周期表,可修正要分析元素及是否參與計算比率 (10)

                      算分析元素比率 (11) 筆記本view Notepad review可修正數據並列印 ( FilePlot ) EDS只能列印無

                      法存電子檔

             7 使用完請依序關畢視窗 , 退出系統 , 關地上主機 , 拔掉電源插座。(有時會有地線干擾影響SEM影像 )

             8 電腦已老舊 , 不正常關機會掛掉 , 請特別小心 , 有問題立即告知技術員。

      9 Detector調回 >10 , ANALYSIS mode OFF , COLUMN SETUP 調回normal , 關畢視窗。