交通大學 奈米中心SEM設備拍攝出的影像

                       廠牌Hitachi     型號S-4700I                 94.12.12

 

拍攝清楚且高倍影像之要訣:

1. 導電性 : 試片導電性一定要好,secondary detector才detect 的到。

  很多試片電性不好,它是可以鍍pt的。

            但魚與熊掌不可兼得:往往pt鍍的太薄,影像不清楚(因導電性不佳);鍍太厚,會蓋住原想看的pattern。

2.   : 若要看高倍試片一定要貼牢、stage要鎖緊、試情況決定是否按下

stage lock 按鈕,可減低外在環境因素造成的晃動。

3.   : 真空一定要好。

4. 加速電壓 : 耐打的試片可用高電壓打,可以看的更清楚;

              不耐打的試片,只能用低電壓,不然會charge,甚至傷了試片也打出髒東西影響真空。

5. 小心、細心、耐心

 

 

以下是金粒子試片在不同倍率下的影像。

 

 

  放大1萬倍的金粒子

  放大15萬倍的金粒子已可見其表面

  放大25萬倍的金粒子立體感

   放大25萬倍的金粒子表面及立體感

  放大25萬倍的金粒子表面及立體感

  放大30萬倍的金粒子表面及立體感 

  放大35萬倍的金粒子表面及立體感

  放大40萬倍的金粒子彼此間相連的立體感

  放大45萬倍金粒子表面及藕斷絲連感

   放大50萬倍的金粒子表面

  放大50萬倍的金粒子表面及立體感

   放大50萬倍後仍可見金粒子的立體感