NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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    真  空  烤  箱

      

                   update:2017/09/12

中文名稱 多功能烤箱 英文名稱 Vacuum Oven
儀器廠牌型號 Yield Engineering Systems YES - 5 購置年限 甲 : 1993年03月   乙 : 1996年04月

功能

矽晶片或其它半導體晶片,塗光阻前處理,烘乾。上HMDS同時進行

放置地點

固態電子系統大樓 1樓102實驗室  (TEL:55609 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.Heaters : 8 ~ 200 W

2.High Capacity HMDS Flask

3.Power Requirements : 115V,60HZ,15A

4.Chamber Dimensions : 16"W X 16"D X 16"H

5.Microprocessor Control

6.Over-Temperature Shut-Off Setpoint 250℃

7.Optional : Vacuum Pump

聯絡人

1.儀器設備管理人員趙建允 先生   (TEL:03-5712121-5567055667)

2.儀器管理委員侯拓宏 教授 (TEL:03-5712121-54261)

注意事項 本儀器為雙面光罩對準曝光機(Double Side Mask Aligner)光罩對準曝光機(Mask Aligner)之附屬儀器,故無法單獨申請自行操作