NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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    展  阻  量  測  系  統

        

                update:2017/08/01

中文名稱 展阻量測系統 英文名稱 Spreading Resistance Probe System
儀器廠牌型號

廠牌:Solid State Measurement. Inc.

型號:SSM150 Automatic Spreading Resistance

購置年限 2000年12月1日

功能

測試試片表面展阻、載子濃度

放置地點

電子資訊研究大樓 7 樓 710實驗室  (TEL:55676 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.展阻範圍:1 ~ 1E10 Ω.

2.載子濃度範圍: n-type silicon: 2E13 ~ 5E19 cm-3

                                           p-type silicon: 2E14 ~ 7E19 cm-3

3.最小縱深解析度:25 nm

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

開放使用時間 [enter]
聯絡人

1.儀器設備管理人員范秀蘭  小姐 (TEL:03-5712121-55672、55337)

2.儀器管理委員顏順通 教授   (TEL:03-5712121-31471)

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

委託代工

申請表格

使用申請表

管理規則及使用辦法

[enter]

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準

(貴儀無經費補助,請現金付費)

此收費標準於103/1/1開始實施

*現金送件者,測試完成須現場付費,外地使用者可用匯款,收到款項學校開可報帳之收據

  學校單位 研究單位 營利事業單位
  校內 校外
委託操作(元/時) 0 1000 3500 4000
測量點數超過50點每點加收(元) 0 20 20 20
試片研磨費(元/片)

500

500

500

11˚32' & 17' 研磨費(/)

500

1000

1000