NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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           冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器

   (SEM SU-8010)

        

             update:2017/08/16

中文名稱 冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器(SEM SU-8010) 英文名稱 Cold Field Emission Scanning Electron Microscope (Hitachi SU8010) & Energy Dispersive Spectrometer
儀器廠牌型號 Hitachi SU-8010 購置年限 2013年10月
放置地點 工程六館2212實驗室  (TEL:55337 機台狀況& 平均等待交件時間
功能

1.電子顯微鏡觀察(SEM):高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構

2.表面能階分析(EDS):特定位置表面材料成分電子能階光譜分析,用以判斷表面

                                         材料或污染的組成

3.試片前處理:新購置離子研磨機,具有剖面研磨&表面研磨功能,協助讓試片表面更平整,便於SEM觀察

重要規格

1.電子源:冷陰極電子槍

2.操作電壓:0.1kV~30kV

3.試片尺寸:50mm diameter x 50mm diameter

4.解析度:10A° (at 15kV) or 13A° (at 1kV)

5.放大倍率20~80萬倍(依試片本身而定)

6.二次電子解析度1.0nm(15kV)

7.EDS可提供全能譜定性分析(Be4~U92)、半定量分析及元素分佈圖

8.離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar)
9.剖面研磨範圍X:7mm Y: 3mm
10.表面研磨速度:0°:2μm/hr 60°:20μm/hr

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

開放使用時間

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聯絡人

1.儀器設備管理人員范秀蘭  小姐 (TEL:03-5712121-55672、55337)

2.儀器管理委員顏順通 教授   (TEL:03-5712121-31471)

委託代工

申請表格

委託代工申請表    
儀器操作預約

 

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

 

自行操作

申請方式

申請流程說明

操作規範與

考核記錄表

操作規範

考核記錄表

注意事項

SEM & EDS 儀器操作簡易步驟

SEM拍攝要訣及照片

收費標準

(貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

**請自備導電膠帶熱感紙(規格為K65HM)**

收費方式:

自行操作:取開機費(樣品表面鍍膜/EDS另計)

委託操作:收取開機費+代工費(樣品表面鍍膜/EDS另計)

此收費標準於104/1/1開始實施

  學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費(元/3時) 900 900 900
開機費(/) 2500 4500 5500
樣品表面鍍膜(元/分) 500 600 800
EDS(元/片) 500 600 800
研磨機(平面) 500/片 800/片 1000/片
研磨機(側面) 3500/2hr 5500/片  6500/片
申訴電話及信箱 徐忠璇小姐  TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,

賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,

中心專線電話: TEL:03-6116690