NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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      高解析度場發射

        掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

   (SEM S-4700I)

        

             update:2017/08/01

中文名稱 冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器(SEM S-4700I) 英文名稱 High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer (SEM & EDS)
儀器廠牌型號 Hitachi S-4700I 購置年限 1998年10月
放置地點 電子資訊研究大樓 7 樓 710實驗室  (TEL:55676 機台狀況& 平均等待交件時間
功能

1.電子顯微鏡觀察(SEM):高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構

2.表面能階分析(EDS):特定位置表面材料成分電子能階光譜分析,用以判斷表面

                                         材料或污染的組成

重要規格

1.電子源:冷陰極電子槍

2.操作電壓:0.5kV~30kV

3.試片尺寸:25mm diameter x 10mm(t)

4.解析度:15A° (at 15kV) or 25A° (at 1kV)

5.放大倍率50萬倍(依試片本身而定)

6.二次電子解析度1.5nm(15kV下)

7.EDS可提供全能譜定性分析(B5~U92)、半定量分析及元素分佈圖

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

聯絡人

1.儀器設備管理人員范秀蘭  小姐 (TEL:03-5712121-55672、55676)

2.儀器管理委員顏順通 教授   (TEL:03-5712121-31471)

操作規範與

考核記錄表

操作規範

考核記錄表

注意事項

SEM & EDS 儀器操作簡易步驟

SEM拍攝要訣及照片

自行操作

申請方式

申請流程說明

收費標準

(貴儀無經費補助,請現金付費預約方式請至電子資訊大樓七樓710紙本預約)

**請自備導電膠帶熱感紙(規格為K65HM)**

收費方式:取開機費(樣品表面鍍膜/EDS另計)

**不接受委託操作僅開放自行操作**

**校內單位月累計超過9小時收費減半**

此收費標準於103/1/1開始實施

   學校單位 研究單位 營利事業單位
與交大有合作計畫者
開機費(/) 100 1000 1500
樣品表面鍍膜(元/分) 50 150 150
EDS(元/片) 50 150 150