NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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      高解析度場發射

        掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

   (SEM S-4700I)

        

             update:2019/03/15

中文名稱 高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀(SEM S-4700I) 英文名稱 High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer (SEM & EDS)
儀器廠牌型號 Hitachi S-4700I 購置年限 1998年10月
放置地點 電子資訊研究大樓 7 樓 710實驗室  (TEL:55676
功能

1.電子顯微鏡觀察(SEM):高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構

重要規格

1.電子源:冷陰極電子槍

2.操作電壓:0.5kV~30kV

3.試片尺寸:25mm diameter x 10mm(t)

4.解析度:15A° (at 15kV) or 25A° (at 1kV)

5.放大倍率50萬倍(依試片本身而定)

6.二次電子解析度1.5nm(15kV下)

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

聯絡人

1.儀器設備管理人員范秀蘭  小姐 (TEL:03-5712121-55672、55676)

2.儀器管理委員顏順通 教授   (TEL:03-5712121-31471)

操作規範與

考核記錄表

操作規範

考核記錄表

注意事項

SEM & EDS 儀器操作簡易步驟

SEM拍攝要訣及照片

自行操作

申請方式

申請流程說明

收費標準

(貴儀無經費補助,請現金付費

**請自備導電膠帶**

收費方式:取開機費(樣品表面鍍膜/另計)

校內單位自行操作月累計超過9小時收費減半

此收費標準於108/3/15開始實施

單位收費表準 委託操作 自行操作
學術單位
(校外)
學術單位
(校內)
廠商及研究單位 學術單位
(限交大通過考核者)
廠商及研究單位
代工費(/3小時) 900 900 900   不開放
SEM(元/小時) 1,000 100 2,000 100
樣品表面鍍膜(元/分) 500 500 800 500
EDS(元/片) 已故障停用