NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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     全光譜反射式膜厚量測儀

       

              update:2017/08/01

中文名稱

全光譜反射式膜厚量測儀

英文名稱

Reflectometer

儀器廠牌型號

里華SR-SEMI_RTC11001U

購置年限

201511

放置地點

固態電子系統大樓1R135實驗室  (TEL:55609)  機台狀況& 平均等待交件時間

功能

量測SiO2Si3N4Poly-SiTEOS等可透光薄膜,待測試片大小從破片至6

重要規格

1.在同一膜層中,可模擬2種不同的材料混合比例。

2.可模擬膜面之不均勻粗糙現象。

3.可量測三層膜。

4.內建資料庫提供約100折射率n及消光系數k值。

5.可設立多種不同型態座標。

6.進行多點全自動量測。

7.由十字標校正確保反射率標準片與待測樣品的工作距離一致。

8.軟體可選擇Operator modeEngineer mode

9.可由網路遠端系統操作.教學.演練。

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

聯絡人

1.儀器設備管理人員賴玟  先生  (TEL:03-5712121-55606、55616)

2.儀器管理委員趙天生 教授 (TEL:03-5712121-31367)

委託代工

申請表格

使用申請表

操作規範與

考核記錄表

操作規範

考核記錄表

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準 此收費標準於105/02/01開始實施

 

學校單位

研究單位

營利事業單位

開機費(元)

600

850

1000

每片五點內

150

360

500

每超過一點加

120

180

250