NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

奈米中心首頁 服務事項 人員簡介 儀器設備 相關文件下載 資源收集

    雷 射 光 罩 製 作 系 統 Ι

   (雷射圖形產生系統Ι)

  

      update:2017/07/04

中文名稱

雷射光罩製作系統 Ι

(雷射圖形產生系統 Ι)

英文名稱

Laser Pattern Generator

儀器廠牌型號 HIMT DWL_2.0 購置年限 1993年10月
放置地點 固態電子系統大樓 1樓 118實驗室   (TEL:55667 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power70mW

2.Smallest feature size is 2um at effective NA 0.5

3.4吋光罩有效區域 8cm x 8cm, 5吋光罩圖案有效區域 10cm x 10 cm

4.Maximum die's number 256

5.GDSII  DATA _INPUT 及 Auto CAD 之 *. dxf 檔

6.Dual CCD camera alignment system

服務項目

4"玻璃、5"玻璃光罩之製造

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

開放使用時間

[enter]

聯絡人

1.儀器設備管理人員黃國華 先生 (TEL:03-5712121-55659、55667、55609)

2.儀器管理委員趙天生 教授 (TEL:03-5712121-31367)

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

委託代工

申請表格

使用申請表

儀器操作使用辦法

[enter]

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準

(貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

此收費標準於99/1/1開始實施

  學校單位 研究單位 營利事業單位

圖檔處理費

1000元/時、片 1000元/時、片

12000元起~

依個案報價

現場看圖費

1000元/時、片 1000元/時、片

4"玻璃(元)

7000

10000

5"玻璃(元)

8000

11000
申訴電話及
信箱
徐忠璇小姐  TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,

賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,

中心專線電話: TEL:03-6116690