NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

 

奈米中心首頁

服務事項

人員簡介

儀器設備

相關文件下載

資源收集

 

    I-line光 學 步 進 曝 光 機        

                  

               update:2017/07/05                       

中文名稱

I-line光學步進曝光機

英文名稱

I-line Stepper

儀器廠牌型號

荷蘭ASML  PAS 5000/50

購置年限

2006年 ITRI 捐贈 (1990年製)

放置地點

固態電子系統大樓 1樓10級R139  (TEL:55616)  機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.Lens resolution 0.5micro i-line (365nm)

2.Reduction 5X

3.UDOF >=1.2 micro

4.Uniformity <=2.5%

5.Overlay (99.7% of Data)  100nm( Single machine)

4.Wafer size 4"

服務項目

1. 限4"之晶片

2. 五吋光罩,特定 align mark 規格

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

聯絡人

1.儀器設備管理人員蔡慶祥  先生 (TEL:03-5712121-5560555616)

2.儀器管理委員侯拓宏 教授 (TEL:03-5712121-54261)

儀器操作注意事項

使用注意事項   

委託代工

申請表格

[download]

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

*** 請至{光罩對準曝光機Aligner}預約I-line***

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準

(有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

*只上光阻: 每片500元

*代工費900元(一道mask 3片以內) 以此類推

此收費標準於98/1/1開始實施

 

學校單位

研究單位

營利事業單位

代工費(元/次)

(一道mask,3片以內)

900 900 900

費用(/每分鐘

基本收費以10分鐘為最小單位

150

150

300

申訴電話及信箱 徐忠璇小姐  TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,

賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,

中心專線電話: TEL:03-6116690