NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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    聚 焦 離 子 束 與 電 子 束 顯 微 鏡 Ι

        

          update:2018/02/08

中文名稱 聚焦離子束與電子束顯微系統 Ι 英文名稱 Dual beam (focused ion beam & electron beam) System (FIB/SEM) Ι
儀器廠牌型號 TESCAN GAIA3 購置年限 2017/12/18
放置地點 工六館 213室   (TEL:55368 機台狀況& 平均等待交件時間
功能

1.穿透式電子顯微鏡試 in-situex-situ TEM試片製備

2.奈米結構製程:奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察

3.剖面試片之製作及觀察:剖面試片切割及影像記錄

4.白金之沉積:白金鍍層及影像記錄

5.製程上異常觀察分析:固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄

6.晶相分析及觀察

7.本機台加裝能量散佈質譜器(EDX)可作元素成分之定性及半定量之分析

重要規格

1.電子源:場發射式

2.離子源:Ga液態金屬離子源

3.加速電壓電子束—200V~30kV 離子束—500V~30kV

4.影像解析度:SEM1.5nm at 15kVFIB2.5nm at 30kV

5.工作距離5mm  

6.試片規格:直徑(10mm dia ) x 高度 (<0.50cm)

7.放大倍率SEM: 4x~1MxFIB: 150x~1Mx

8.GIS、 Pt、SiO2

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

開放使用時間

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聯絡人

1.儀器設備管理人員(暫代理) 林聖欽  先生 (TEL:03-5712121-55668、55368)

                                             (休假中) 劉悅恩  小姐 (TEL:03-5712121-55658、55368)  

2.儀器管理委員吳耀銓 教授(TEL:03-5712121-31555)

                           崔秉鉞 教授(TEL:03-5712121-31570)

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

委託代工

申請表格

委託代工申請表格

自行操作

申請方式

申請流程說明

注意事項

1.限制使用FIB機台之材料:

a.磁性材料

b.粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料

c.低熔點的物質

d.合金材料含有磁性材料高於5%

2.使用者必需詳細說明試片之製作方式,若有可能造成真空腔污染,本單位有權拒絕受理。預約者 請實驗三天前填妥申請表格(請繪製樣品及觀察位置之top viewcross-section圖,並註明各層材料及厚度),並傳送檔案予技術人員審核。

3.若因試片處理不當造成機台損壞或污染,須負賠償責任。賠償費用由原廠評估並經管理委員會決議後執行。

4.試片直徑約10mm dia,高度小於0.5cm為較合適的尺寸,表面必須平整,不可局部起伏過大為特殊尺寸,應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。

5.半導體、導電性不佳及絕緣體試片需先鍍導電膜(金或鉑較佳)現場無提供鍍膜處理

6.請自備空白光碟片存取資料。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行圖檔傳輸。

7.TEM試片製作請自備銅網。每3小時一個時段製作一片,由委託者及助教共同合作,使用OM放置試片於自備銅網上。因試片材質會影響玻璃針吸附效果,若未能成功放置銅網,不另補作。

8.白金電極付費:

    鍍白金電極時間於0.1%以內不予收費。超過0.1%計價方式為每0.1%收費現金200元。請實驗後拿繳款通知單至奈米中心繳款。 

9. EDX付費:

   本機台之EDX可做Mapping / Line Scan /定性及半定量分析,每小時加收貴儀600元。

10.分析測試時若發現樣品不符合規定,樣品將被退回並照其預約之時段付費。實驗之樣品請送件,以供測試使用。使用者應在場說明需分析之內容。

11.貴儀系統預約限制為:每位計畫主持人每月限預約二次。機台開放預約時間為每月25日上午八,預約次月實驗。實驗時間預約後若需取消,請於五天前自行登錄貴儀系統取消,否則仍需扣款。

12.無故預約不到,自動扣該次時段;遲到超過十五分鐘,扣預約時段並取消服務。

 

***預約時段如遇國定假日、機台故障維護或耗材更換,時段以取消處理,不另補做***

收費標準

(貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

**請自備空白CD **

此收費標準於107/3/1開始實施

  學校單位 研究單位 營利事業單位

自行操作(元/時)

3500 5000 7000

委託操作(元/時)

5500

6000

8000

EDS(/)

600

600

600


耗材現金收費 (另試片清汙每次500元)
  價錢   價錢

銅網(元/個)

60 鍍Pt (超過0.1%)(元) 200

金網(元/個)

150

半月型銅網(元/個)

120

厚銅網(元/個)

120

OP Probe tip(元/支)

1200

Lacey(元/個) 200    
申訴電話及信箱 徐忠璇小姐  TEL:03-571212131534、31248,03-5131534,
賴卓君小姐  TEL:03-571212131775,03-5731775,
中心專線電話 TEL:03-6116690