NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

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    橢  圓  測  試  儀

        

            update:2017/08/01

中文名稱 橢圓測試儀 英文名稱 Ellipsometer
儀器廠牌型號

法國SOPRA GES5

購置年限 200311

功能

量測二氧化矽、複晶矽、氮化矽等可透光薄膜, 待測試片大小從破片至八吋晶圓

放置地點

固態電子系統大樓 1樓 116 實驗室   (TEL:55666)  機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.可變入射波長 (210 nm ~ 900 nm),可變入射角(0 ~ 90度,需另外申請)

2.解析度 - 0.04 nm at 313 nm; 波長精確度 - 0.04 nm at 313 nm

3.全電腦控制

4.2 or 3 materials mixture  23種混合材料分析

5.Complex or periodic multi-layers structures  複合或週期性多層膜材料

6.Isotropic or anisotropic layers  等向性或非等向性薄膜

7.Alloys modeling for compound semiconductors  化合物半導體的合金模型建立

8.Simulation of optical dispersion laws (over 25 mathematical models)  光學發散律的

   模擬

9.Gradient concentration profiles  濃度梯度分佈

10.Interface roughness modeling  介面粗糙度模型建立

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數 

聯絡人

1.儀器設備管理人員詹佳期  先生 (TEL:03-5712121-5562255608)

2.儀器管理委員崔秉鉞 教授 (TEL:03-5712121-31570)

委託代工

申請表格

使用申請表

操作規範與

考核記錄表

操作規範

考核記錄表

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準

(貴儀無經費補助,請現金付費)

此收費標準於98/1/1開始實施

  學校單位 研究單位 營利事業單位

自行操作(/小時)

1000

1000

1000

委託操作(/小時)

1800

2400

3000