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               update:2014/07/24

中文名稱

熱阻絲蒸鍍系統

英文名稱

Thermal Evaporation Coater

儀器廠牌型號

日本ULVAC EBX-6D

購置年限

19951

功能

薄膜蒸鍍(主要用於鋁金屬之蒸鍍)

放置地點

固態電子系統大樓 3 樓實驗室   (TEL55608 機台狀況

重要規格

1.抽氣系統:RP+擴散幫浦,最低壓力2.0E-6 Torr

2.基板大小:4吋晶片8片 或 6吋晶片5

3.鍍膜均勻性:±5%以內 (4吋基板)

系統開放等級

A (附註1)

開放使用時間

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聯絡人

1.儀器管理委員鄭裕庭  教授 (TEL03-5712121-54169)

2.儀器維修人員陳悅婷  小姐 (TEL:03-5712121-55671, 55608)

3.儀器操作人員陳悅婷  小姐 (TEL:03-5712121-55671, 55608)

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約

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申請表格

使用申請表

操作規範與

考核記錄表

Chinese-操作規範              English -操作規範

Chinese-考核記錄表           English -考核記錄表

收費標準

(貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

*材料費另計 (依鍍膜厚度及材料之不同需要) 48   65

**不可鍍銅(Cu)、金(Au)等污染性材料**

收費方式:

自行操作:收取開機費+材料費

委託操作:收取開機費+材料費+代工費

此收費標準於99/1/1開始實施

 

學校單位

研究單位

營利事業單位

代工費(現金)

(自行操作不用繳此費用)

900元/次

-

-

每次開機費

4000

4500

5000

材料費  5KA 以下

1000

1000

1000

材料費  5KA 以上 至10KA

2000

2000

2000

附註1:

A:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。

B:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為

        操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練

        學生人數。

C:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器

         並得負責委託服務工作。

D:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。