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    電  子  槍  蒸  鍍  系  統

        

            update:2017/05/16

中文名稱

電子槍蒸鍍系統

英文名稱

E/B Gun Coater

儀器廠牌型號

VTI E/B GUN COATER

購置年限

1994年4月

功能

薄膜蒸鍍(限半導體製程常用之材料)

放置地點

固態電子系統大樓 2樓 222 實驗室   (TEL:54183 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.EB gun Model EGK-3M*2.5kw EB power

2.Cryo pump Torr -8

3.基板大小:3"、4"

聯絡人

1.儀器設備管理人員許俊生 先生 (TEL:03-5712121-55618, 54183)

2.儀器負責教授侯拓宏 教授 (TEL:03-5712121-54261)

申請表格

使用申請表

收費標準

(請現金付費)

收費方式:

自行操作:收取開機費+材料費

委託操作:收取開機費+材料費+代工費

此收費標準於104/1/1開始實施

  學校單位 研究單位 營利事業單位

代工費 (元/次)

900 900 900

開機費(元)

5000

6000

7000

材料費另計

**一次滿載可放置4吋或3吋晶片 4 片**

材料名稱 收費
Ti 600元/KA
Cr 600元/KA
AL 600元/KA
Au 10000元/KA