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                  (B)

        

            update:2017/07/05

中文名稱

電子槍蒸鍍系統 (B)

英文名稱

Dual E-Gun Evaporation B System

儀器廠牌型號

日本ULVAC EBX-10C

購置年限

19935

功能

薄膜蒸鍍(限半導體製程常用之材料)

放置地點

固態電子系統大樓 3 樓實驗室  (TEL55608 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.EB gun Model EGL-35M * 5kw EB power

2.Cryo pump U-10 pu(2300 L/S N2),最低壓力3.0E-7 Torr

3.基板大小:4"6"

開放等級

開放人數

機台開放等級/開放人數

開放使用時間

[enter]

聯絡人

1.儀器設備管理人員陳悅婷小姐 / 溫鋐明先生 (TEL:03-5712121-55657, 55608)

2.儀器管理委員鄭裕庭  教授 (TEL:03-5712121-54169)

儀器操作預約

科技部貴重儀器資訊管理系統預約[Enter]

委託代工

申請表格

申請表格

操作規範與

考核記錄表

操作規範 

考核紀錄表

自行操作

申請方式

白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)

收費標準

(無貴儀帳號者請現金付費

收費方式:

自行操作:收取開機費+材料費

委託操作:收取開機費+材料費+代工費

此收費標準於104/1/1開始實施

 

學校單位

研究單位

營利事業單位

代工費

900元/次

900元/次

900元/次

開機費(元)

5500

6600

7700

材料費另計  (貴重金屬請自備)

**一次滿載可放置4吋晶片18片,或69**

材料名稱

收費

材料名稱

收費

Co

550/KA

Ni

440/KA

W

550/KA

Si

440/KA

Ti

660/KA

Si3N4

880/KA

Pt

時價

Ge

660/KA

SiO2

550/KA

Cr

660/KA

Mo

550/KA

Pd

880/KA

MgF2

自備

 

 

申訴電話及信箱 徐忠璇小姐  TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,

賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,

中心專線電話: TEL:03-6116690