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        光 罩 製 作 系 統Ⅱ(DWL-200)

        (雷射圖形產生系統 Ⅱ(DWL-200))

  

      update:2018/12/03

中文名稱

光罩製作系統 Ⅱ(DWL-200)

(雷射圖形產生系統 Ⅱ(DWL-200))

英文名稱

Laser Pattern Generator(DWL-200)

儀器廠牌型號

HIMT DWL-200

購置年限

2007年4月

放置地點

固態電子系統大樓 10級R 139實驗室   (TEL:55616

重要規格

1.雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power 125mW

2.Minimum feature size is .80um

3.最大有效區域 200mm x 200mm

4.GDSII   及 Auto CAD 之 *. dxf

5.Dual CCD camera alignment system

服務項目

玻璃光罩之製造4、5及6”﹞, 5吋石英光罩(電洽)

開放人數等級

開放使用時間

開放使用時間

機台開放等級/開放人數

聯絡人

1.儀器設備管理人員蔡慶祥  先生 (TEL:03-5712121-5560555616)

2.儀器管理委員趙天生 教授 (TEL:03-5712121-31367)

儀器預約

科技部貴重儀器資訊管理系統

委託代工

申請表格

Word   ODF  

儀器說明

光罩製作說明

收費標準

(貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費)

此收費標準於99/1/1開始實施

 

學校單位

研究單位

營利事業單位

圖檔處理費

1000元/時、片

1000元/時、片

15000元起~

依個案報價

現場看圖費

1000元/時、片

1000元/時、片

4"玻璃(元)

 9,500

12,000

5"玻璃(元)

 11,000

 13,000

6"玻璃(元)

 15,000

 17,000

其他非標準大小者,原則上以面積比例計價

申訴電話

徐忠璇小姐  TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,
賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,
中心專線電話: TEL:03-6116690