NFC國立交通大學奈米中心儀器設備

奈米中心首頁 服務事項 人員簡介 儀器設備 相關文件下載 資源收集

     光  阻  塗  佈  機

        

                      update:2017/09/12

中文名稱 光阻塗佈機 英文名稱

Photo Resist Spinner

儀器廠牌型號

Synrex 擎邦 1-PM101D-R790

購置年限

1992年12月16日

放置地點

固態電子系統大樓 1樓120實驗室  (TEL:55609 機台狀況& 平均等待交件時間

重要規格

1.可分二段轉速控制

2.可分二段時間控制

3.旋轉速度可達7500rpm 

服務項目

上光阻

聯絡人

1.儀器設備管理人員趙建允 先生   (TEL:03-5712121-5567055667)

2.儀器管理委員侯拓宏 教授 (TEL:03-5712121-54261)

注意事項 本儀器為雙面光罩對準曝光機(Double Side Mask Aligner)光罩對準曝光機(Mask Aligner)之附屬儀器,故無法單獨申請自行操作