儀器設備開放時間一覽表

update2017/09/18

      雷射光罩製作系統 (雷射圖型產生系統)開放使用時間

開放服務時數:41小時/週;維護時數:4小時/週。 

                 (雷射光罩製作系統Ⅰ、Ⅱ,兩部機台合計可開放約82小時/週)

 

上午

下午

週一

8:00 至12:00 (委託時段)

12001700 (委託時段) 

週二

8:00 至12:00 (委託時段)

12001700 (委託時段)

週三

8:00 至12:00 (委託時段)

12001700 (委託時段)

週四

8:00 至12:00 (委託時段)

12001700 (委託時段)

週五

8:00 至12:00 (儀器維護)

12001700 (委託時段)

 

 

2. 光罩對準曝光機、光阻處理系統、雙面光罩對準曝光機開放使用時間

開放服務時數:62 小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

(校外優先登記)

12001900

(校內優先登記)

週二

8001200

(校內優先登記)

12001900

(校外優先登記)

週三

8001200

(校外優先登記)

12001900

(校內優先登記)

週四

8001200

(校內優先登記)

12001900

(校外優先登記)

週五

8001200

儀器維護

12001900

(校外優先登記)

週六

8001200

(校內優先登記)

12001900

(校內優先登記)

 

 

3. 氧化擴散系統開放使用時間

開放服務時數:36 小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

儀器維護

13001700

(校內優先登記)

週二

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週三

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週四

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週五

8001200

(儀器維護)

13001700

(校外優先登記)

      

 

 4. 低壓化學氣相沉積系統開放使用時間

開放服務時數:36小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週二

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週三

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週四

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週五

8001200

(儀器維護)

13001700

(訓練考核)

 

 

 5. 電漿輔助化學氣相沉積系統開放使用時間

開放服務時數:36 小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週二

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週三

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週四

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週五

8001200

(儀器維護)

13001700

(校外優先登記)

 

 

6. 熱蒸鍍系統(熱阻絲蒸鍍系統 & 雙電子鎗蒸鍍系統)開放使用時間

                                                                熱蒸鍍系統為熱門設備,為讓校內、外使用者可方便使用本系統,本系統規劃校內、外可優先使用時段,並讓校外使用者可使用時數每週達50%以上。

                                目前通過使用認證者已達170 人以上,每天分三時段提供服務,本設備採每週預約一次,每週三上午8:30 在奈米中心大廳排隊唱名登記,登記後上網預約序號。唱名登記之優先權如下:

                                                                                                                                 (1)校外使用者優先登記校外優先時段。

                                                                                                                                 (2)考核執照者優先登記。

                                                                                                                                 (3)上述登記剩餘的時段以愈久未預約到設備者優先登記。

                                                                                                                                 (4)非自行操作使用者可提前送委託件,不需在現場,無採時段預約之必要,並依委託送件之順序交件。每位委託

                                                                                                                                     者同時間只可有二個未完成實驗的預約序號,實驗完成後才可再預約。

開放服務時數:164 小時/週;維護時數:4小時/週。

序號預約

 

上午

下午

晚上

週一

8301700

(校內優先登記)

17002400

(校外優先登記)

2400至次日830

(校外優先登記)

週二

8301700

(送件委託服務)

17002400

(校內優先登記)

2400至次日830

(校內優先登記)

週三

8301700

(送件委託服務)

17002400

(校外優先登記)

2400至次日830

(校外優先登記)

週四

8301700

(送件委託服務)

17002400

(校內優先登記)

2400至次日830

(校內優先登記)

週五

8301700

儀器維護

17002400

(校外優先登記)

2400至次日830

(校外優先登記)

週六

8301700

(校外優先登記)

17002400

(校內優先登記)

2400至次日830

(校內優先登記)

週日

8301700

(校內優先登記)

17002400

(校外優先登記)

2400至次日830

(校外優先登記)

 

           

 7.真空濺鍍系統開放使用時間

                                                                 真空濺鍍系統為熱門設備,為讓校內、外使用者可方便使用本系統,本系統規劃校內、外可優先使用時段,並讓校外使用者可使用時數每週達50%以上。

                                目前通過使用認證者已達130 人以上,每天分三時段提供服務,本設備採每週預約一次,每週三上午8:30 在奈米中心大廳排隊唱名登記,登記後上網預約序號。唱名登記之優先權如下:

                                                                                                                                 (1)校外使用者優先登記校外優先時段。

                                                                                                                                 (2)考核執照者優先登記。

                                                                                                                                 (3)上述登記剩餘的時段以愈久未預約到設備者優先登記。

                                                                                                                                 (4)非自行操作使用者可提前送委託件,不需在現場,無採時段預約之必要,並依委託送件之順序交件。每位委託

                                                                                                                                     者同時間只可有二個未完成實驗的預約序號,實驗完成後才可再預約。

開放服務時數:131小時/週;維護時數:4小時/週。

序號預約

 

上午

下午

晚上

週一

9001700

(校內優先登記)

17002400

(校外優先登記)

2400至次日900

(校外優先登記)

週二

9001700

(送件委託服務)

17002400

(校內優先登記)

2400至次日900

(校內優先登記)

週三

9001700

(送件委託服務)

17002400

(校外優先登記)

2400至次日900

(校外優先登記)

週四

9001700

(送件委託服務)

17002400

(校內優先登記)

2400至次日900

(校內優先登記)

週五

9001700

儀器維護

17002400

(校外優先登記)

2400至次日900

(校外優先登記)

週六

9001700

(校外優先登記)

17002400

(校內優先登記)

 

 

 

8. 導電性材料活性離子蝕刻機(Poly-Si RIE & HDP-RIE & Si Deep-RIE)開放使用時間

開放服務時數:36 小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

(訓練考核)

13001700

(校內優先登記)

週二

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週三

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週四

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週五

8001200

儀器維護

13001700

(校外優先登記)

 

 

9. 介電性材料活性離子蝕刻機(RIE-200L)開放使用時間

開放服務時數:36 小時/週;維護時數:4小時/週。

時段預約

 

上午

下午

週一

8001200

(訓練考核)

13001700

(校內優先登記)

週二

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週三

8001200

(校外優先登記)

13001700

(校內優先登記)

週四

8001200

(校內優先登記)

13001700

(校外優先登記)

週五

8001200

儀器維護

13001700

(校外優先登記)

 

 

10. 冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器開放使用時間

開放服務時數:81小時/週;維護時數: 3小時/週。

時段預約

 

晚上

晚上

週一

8:3011:30

(儀器維護)

13:0016:00

(校外優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

週二

8:3011:30

(校外優先登記)

13:0016:00

(校外優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

週三

8:3011:30

(校內優先登記)

13:0016:00

(訓練考核)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

週四

8:3011:30

(校內優先登記)

13:0016:00

(校外優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

週五

8:3011:30

(校內優先登記)

13:0016:00

(校外優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

週六

8:3011:30

(校外優先登記)

13:0016:00

(校內優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

周日

8:3011:30

(校內優先登記)

13:0016:00

(校內優先登記)

16:0019:00

(開放使用)

19:0022:00

(開放使用)

 

 

 

11.離子聚焦系統開放使用時間及管理

    開放服務時數:57小時/週;維護時數:3小時/週。

時段預約

 

上午

下午

晚上

週一

9001200

(校內優先登記)

13301630

(校內優先登記)

16301930

(校外優先登記)

20002300

(開放等級C 級之操作人員)

週二

9001200

(校外優先登記)

13301630

(校內優先登記)

16301930

(校內優先登記)

20002300

(開放等級C 級之操作人員)

週三

9001200

(校外優先登記)

13301630

(校內優先登記)

16301930

(校外優先登記)

20002300

(開放等級C 級之操作人員)

週四

9001200

(校外優先登記)

13301630

(校內優先登記)

16301930

(校內優先登記)

20002300

(開放等級C 級之操作人員)

週五

9001200

(校外優先登記)

13301630

儀器維護

16301930

(校外優先登記)

20002300

(開放等級C 級之操作人員)

 

 

12. 原子層化學氣象沉積系統開放使用時間及管理

開放服務時數:76小時/週;維護時數:8小時/週。

序號預約

 

上午

下午

晚上

週一

8001200

儀器維護

13 : 001700

(校內優先登記)

1700 2100

(開放使用)

週二

8001200

(校外優先登記)

13 : 001700

(校外優先登記)

1700 2100

(開放使用)

週三

8001200

(校外優先登記)

13 : 001700

(訓練考核)

1700 2100

儀器維護

週四

8001200

(校外優先登記)

13 : 001700

(校外優先登記)

1700 2100

(開放使用)

週五

8001200

(校內優先登記)

13 : 001700

(校內優先登記)

1700 2100

(開放使用)

8001200  

(開放使用)

13 : 001700

(開放使用)

1700 2100

(開放使用)

週日

8001200  

(開放使用)

13 : 001700

(開放使用)

1700 2100

(開放使用)