NFC儀器設備狀況&平均等待交件時間一覽表

設備名稱

儀器狀態

代工狀態

處理進度

更新日期

聯絡窗口

平均等待交件時間
每4個月更新1次
最近更新日期 :2017/09/20

濕式工作台

(Wet Bench)

正常

正常

2017/09/21

賴玟言  55606、55610

平均等待交件時間 :

1週

氧化擴散系統(原B台設備)

(Oxidation & Diffusion Furnaces)

正常

正常

2017/09/21

林聖欽 55668、55610

平均等待交件時間 :

1週

低壓化學氣相沉積系統

(Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPCVD)

正常 正常

2017/09/21

賴玟言  55606、55610

平均等待交件時間 :

1~2週
(依實際收件排程而定)

電漿輔助化學氣相沉積系統

(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)

正常 正常

(2016/11/14)

2017/09/21

賴玟言  55606、55610

平均等待交件時間 :

1週

原子層化學氣相沉積系統

(Atomic Layer Chemical Vapor Deposition System,ALD)

正常 正常

(2017/01/19~02/23;6/25~7/9B)

2017/09/21

倪月珍  5566955616

平均等待交件時間 :

1~2週

雷射光罩製作系統 Ι

(Laser Pattern Generator)

正常

正常

2017/09/21

黃國華 55659、55667

平均等待交件時間 :

3

雷射光罩製作系統 Ⅱ

(Laser Pattern Generator(DWL-200))

正常

正常

(2017/02/07~09)

2017/09/21

蔡慶祥 55605、55616

平均等待交件時間 :

3

光罩對準曝光機

(Mask Aligner)

正常

正常

2017/09/21

王圣瑩 55661、55667

平均等待交件時間 :

1週

(依送件的排程狀況而定)

雙面光罩對準曝光機

(Double Side Mask Aligner)

正常

正常

2017/09/21

王圣瑩 55661、55667

平均等待交件時間 :

1週

I-line光學步進曝光機

(I-line Stepper)

停機

暫停收件

因目前仍未找到造成故障的問題點,維修所需時間難以預估,欠難以提供明確時間,如完成維修將會立即公告開放使用

(正常開放使用時間為週二上班~週四下班)

(2014/03/04~)

2017/09/21

蔡慶祥 55605、55616

平均等待交件時間 :

暫停收件

光阻塗佈機

(Photo Resist Spinner)

正常

正常

2017/09/21

范秀蘭 55672、55667

平均等待交件時間 :

1週

真空烤箱

(Vacuum Oven)(甲、乙兩台)

正常

正常

2017/09/21

范秀蘭 55672、55667

平均等待交件時間 :

1週

光學顯微鏡

(Optical Microscope)

正常

正常

2017/09/21

范秀蘭 55672、55667

平均等待交件時間 :

1週

複晶矽活性離子蝕刻系統

(Poly-Si Reactive Ion Etching System, Poly-Si RIE)

正常

正常

2017/09/21

胡進章 55607、55666

陳明麗 55660、55666

平均等待交件時間 :

1週

介電薄膜活性離子蝕刻系統

( Dielectric Material RIE 200L)

正常

正常

2017/09/21

胡進章 55607、55666

陳明麗 55660、55666

平均等待交件時間 :

1週

高密度活性離子蝕刻系統

(High Density Plasma Reactive Ion Etching System, HDP-RIE)

正常

正常

2017/09/21

胡進章 55607、55666

陳明麗 55660、55666

平均等待交件時間 :

1週

多腔體電漿蝕刻系統

(P5000E)(Multi-chamber Plasma Etching System)

正常

正常

 

使用前請事先電話通知

 (2016/08/22~09/07) (2017/07/04~21)

2017/09/21

胡進章 55607、55666

陳明麗 55660、55666

平均等待交件時間 :

1週

矽深蝕刻系統

(Si Deep-RIE)

正常

正常

(2017/07/12~7/14;8/7~8/10)

2017/09/21

胡進章 55607、55666

陳明麗 55660、55666

平均等待交件時間 :

1週

熱阻絲蒸鍍系統

(Thermal Evaporation Coater)

正常

正常

2017/09/21

陳悅婷 5565755608

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

雙電子槍蒸鍍系統 A

(Dual E-Gun Evaporation System)

正常

正常

2017/09/21

陳悅婷 5565755608

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

雙電子槍蒸鍍系統 B

(Dual E-Gun  Evaporation System)

正常

正常

2017/09/21

陳悅婷 55657、55608
溫鋐明 55657
55608

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

真空濺鍍系統 A

(Sputtering System A)

正常

正常

(2016/07/18~7/19)

2017/09/21

詹佳期  55622、55608

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件排程及數量而定)

真空濺鍍系統 B

(Sputtering System B)

正常

正常

(2016/08/11~8/17)

2017/09/21

陳悅婷  55657、55608

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件排程及數量而定)

聚焦離子束與電子束顯微系統 (FIB)

(Dual beam [focused ion beam & electron beam] System)

正常

正常

2017/09/21

林聖欽 5566855368 依照個人需求預約時段,使用者於預約時間做實驗,交件時間為實際送件後當日即可帶回,平均預約時間為1~2周

高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

(SEM S-4700I)(High-Resolution Cold Field Emission Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer, SEM, EDS)

正常

正常

(2016/09/14~10/11  2016/10/19~10/25)

2017/09/21

范秀蘭 55672、55337

平均等待交件時間 :

有執照者自行操作, 交件時間為實際送件後當日即可帶回

冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器

(SEM SU-8010)(Cold Field Emission Scanning Electron Microscope (Hitachi SU8010) & Energy Dispersive Spectrometer)

正常

正常

2017/09/21

范秀蘭 55672、55337

平均等待交件時間 :

依照個人需求預約時段,使用者於預約時間做實驗,交件時間為實際送件後當日即可帶回,平均預約時間為1~2

展阻量測系統

(Spreading Resistance Probe System)

正常

正常

2017/09/21

范秀蘭 55672、55337

平均等待交件時間 :

2週
(視SEM業務量而定)

四點探針

(4-point Probe)

正常

正常

(2016/08/12~09/12)

2017/09/21

賴玟言  55606、55610

平均等待交件時間 :

3天

橢圓測試儀

(Ellipsometer)

正常

正常

2017/09/21

詹佳期  55622、55608

平均等待交件時間 :

1~2週

全光譜反射式膜厚量測儀
(Reflectometer)

正常

正常

2017/09/21

賴玟言  55606、55610

平均等待交件時間 :

1週

電子槍蒸鍍系統 --電子系設備

(E/B Gun Coater) (鍍金,現金付費)

正常

正常

2017/09/21

許俊生 5418255611