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簡介與歷史發展
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人員簡介 機台 LPCVD新增Nitride爐管及Wet Bench酸鹼槽一座 [ 104/06/16]
儀器設備簡介  機台 好消息!各機台代工之平均交件時間已放於網頁上囉~ [ 104/05/28]
儀器設備狀況 行政 學習證制度取消公告 [ 104/05/26]
相關文件下載 工安 五月份工安課程特別加開日期:5/11、5/12、5/20、5/21 [ 104/05/05]
各設備審核與考核結果 廠務 5/25至6/3 氣體DCS(SiH2Cl2), 1%PH3/Ar, SiH4停氣公告 [ 104/04/30]
公共安全 廠務 104年奈米中心因應政府第3階段供5停2限水因應計畫 [ 104/04/01]
資源收集 機台 FIB機台自行操作訓練公告(04/30報名截止) [ 104/03/27]
違規懲戒公告區 廠務 3/16~18無塵室高效濾網更換施工 [ 104/03/04]
回交通大學首頁

 

廠務 R116 CDO Scrubber復機 [ 104/03/03]
廠務 R116 CDO Scrubber停機2/13~3/20 [ 104/02/13]

     

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