奈米中心公告

旨:P5000E機台操作教育訓練

說明:

一、本中心之P5000E蝕刻機目前已有基本之製程服務能力,為服務師生進行研究,將舉辦機台之操作教育訓練,以讓使用者了解該機台之基本操作,歡迎有興趣的實驗室指派人員報名參加。

 

二、機台基本資料如下:

()廠牌/型號:Applied Materials / Precision 5000

()晶圓尺寸:四吋或四吋以下(固定於四吋載片)

()蝕刻材料:複晶矽、二氧化矽、氮化矽。

()材料限制:

1. 限矽基板。

2. 試片上不得有摻雜金屬元素或鍍有金屬薄膜。

3. 試片不得經過後段製程機台。

 

三、訓練對象:(1)需有電漿蝕刻機台之操作使用經驗者。

   (2)每一實驗室暫以1名為限。

 

四、訓練日期:視報名人數狀況予以安排(人數較多時將分梯次辦理),確定日期將再另行通知報名者;所需訓練時間預計3小時。

 

五、訓練地點:固態電子系統大樓10級無塵室。

 

六、報名方式:即日起至報名截止日前,請將報名資料(註明學號、姓名、系所、年級、指導教授、聯絡電話)E-mail至電子郵件信箱chtsai@mail.nctu.edu.tw

 

七、報名截止時間:989 17 1700止。

奈米中心主任崔秉鉞

2009/09/10