"博愛校區奈米中心"機台轉移

 

 

 

 

博愛校區奈米中心欲將化學機械研磨機轉移
若有意願之單位可與博愛校區范先生連繫
謝謝~
其機台規格如下所示:

機台名稱 : 化學機械研磨機Chemical Mechanical Polishing(CMP)
儀器廠牌型號 : IPEC Model 472 Polisher
功能 : 研磨各種氧化矽(SiO2,TEOS-Oxide,PECVD-Oxide,BPSG)研磨晶片大小為6吋

 

 

 

聯絡人 范揚禎
聯絡電話 03-5712121轉55654 FAX 03-5729140
mail joseph@mail.nctu.edu.tw
地址 新竹市博愛街75號奈米中心