奈米中心公告

 

  公告日期:2013年02月01日

主旨:氧化擴散系統(B)(新爐管)已開放使用。

 

說明:

1.氧化擴散系統(B)(wet oxide, dry oxide, P+ Annealing ,  N+ Annealing)四支爐管已完成測試,操作規範及考核表請參看網頁上資訊。

2.欲使用氧化擴散系統(B)之使用者,請按照奈米中心儀器申請流程申請自行操作資格,已擁有氧化擴散系統(A)(舊爐管)之使用者,亦需重新送表申請並經過考核才可使用氧化擴散系統(B)

3.預定2013430日以後將暫停使用氧化擴散系統(A)(舊爐管),只開放使用氧化擴散系統(B) (新爐管)

 

奈米中心主任 林鴻志