奈米中心公告

 

公告日期:10603月21日

 

主旨:光復校區奈米中心R121 Local Scrubber停機維修保養

說明: 

  一、R121 Local Scrubber 加熱水洗Chamber內結垢,嚴重堵塞,

    排氣管路靜壓不足,因此配合R116 PECVD真空pump維修保

    養期間,停機進行Chamber清潔及附屬零件維修更換。

  二影響機台R116 PECVDR121 LPCVDR127 ICP-RIE

  三停機期間3/31() 08:00 ~ 4/6()12:00.

  四煩請影響之機台暫停製程操作/研究

  五造成不便懇請見諒。

 

                     奈米中心  廠務組