奈米中心公告

 

公告日期:105年09月19日

 

主旨:Ar(氬氣)氣體停氣通知

說明:因機台搬運至R113,因機台高度影響進機動線, 將進行拆管作業,92108:0092218:00,中心將無法供應Ar(氬氣)氣體,停氣範圍R116 RIE200HDP RIE,二樓及三樓全區如施工進度提前或延後,將另行通知。

 

 奈米中心廠務組啟