奈米中心公告

 

公告日期:105年02月22日

 

主旨 :中心HBr溴化氫氣體更換停氣公告

 

說明:

因中心HBr溴化氫,因更換新氣體需更換氣櫃鋼瓶接頭,廠務預定 32108:00停止供應。

影響機台: 電漿離子蝕刻機 (ICP NE950)與多晶系乾蝕刻機(P5000E)兩部預計33110:00開始供應,不便之處請見諒。

 

承辦 廠務 蔡宜益  0988337932
                分機    55614
                           奈米中心  廠務組啟