奈米中心公告

 

公告日期:105年02月16日

 

主旨 :原子層化學氣相沉積系統(ALD) chamber B暫停開放使用

 

說明:

交通大學奈米中心,ALD chamber B 年度維修保養,時間訂於105/2/22~105/3/7

chamber B2/22 12:00 3/7 12:00暫停使用。


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