奈米中心公告

 

公告日期:10412月15日

 

主旨 :CF4(四氟化碳)NF3(三氟化氮)氣體更換停氣公告

 

說明:

因中心CF4(四氟化碳) NF3(三氟化氮)氣體,目前用量已達使用下限,廠務預定1608:00停止供應進行更換作業。

預計11110:00開始供應,不便之處請見諒。


                                                         

              承辦 廠務 蔡宜益  0988337932
                          分機    55614
                            廠務組啟