奈米中心公告

 

公告日期:10411月06日

 

主旨 : 原子層沉積系統腔體A清腔

 

說明:由於ALD原子層沉積系統腔體A今年度尚未清腔保養,廠商預計11/19()到校拆除腔體A回廠保養預計於12/2開放使用。期間造成不便敬請見諒!

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