奈米中心公告

 

公告日期:1048月11日

 

主旨:光復校區奈米中心頂樓製程排氣風管維修工程

 

說明:

1.  8/8()颱風吹斷頂樓製程排氣風管,廠務將停機維修風管,維修期間請部分機台暫停操作,影響機台如下所列:

R115:MOCVD 郭浩中老師

R220:PECVD 林國斌老師、高溫爐 崔秉鉞老師

R111 MOCVD使用NH3SiH4+H2 氣瓶櫃Vent

R223: PECVD 潘扶民老師、RTA-CVD鄭晃忠老師

R224: MOCVD 張翼老師

R225: MOCVDE-GunPECVD 張翼老師

2.  施工期間:8/14()  08:00 ~ 15:00

3.造成不便還請見諒。

 

    奈米中心   廠務組