奈米中心公告

 

公告日期:104213

 

主旨:R116 CDO Scrubber停機公告。

說明:   

   一、因於歲修保養時發現該Scrubber 沖淋器嚴重鏽蝕無法修補

       需進行更新更換作業。

   二、影響機台R116 奈米中心機台 HDP-RIE、POLY-RIE、RIE-200L

     、PR-5000E,張翼老師實驗室 高密度電漿蝕刻系統、電漿光阻

     灰化及光阻殘渣去除系統,余沛慈老師實驗室 中性粒子束蝕刻

     系統,共七部機台需配合停機不可使用。

三、停機時間:104年2月13日至104年3月20日
 

  預計3月20日16:00恢復供應

如有任何問題請跟廠務反應  蔡宜益 0988337932

 

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