奈米中心公告

 

公告日期:1031216

 

主旨:原子層化學氣相沉積系統(ALD)將於12/16-12/19暫停開放使用。

說明:   

  一、交通大學奈米中心,ALD A-side要裝設新的E-BOX, 預計時間:

        12/16~12/19 ,所以,A chamber於12/16 00:00 至 12/19 24:00

        暫停使用。  

 

    奈米中心   技術組  啟