奈米中心公告

 

公告日期:1031124

 

主旨:原子層化學氣相沉積系統(ALD)將於11/24-11/29暫停開放使用。

說明:   

  一、ALD A-side要裝設新的E-BOX ,11/24~11/28要來裝機,所以

    ,A chamber於11/24下午2:00 至 11/28下午5:00暫停使用,

    若裝機提早結束,會提早開放使用。

  二、ALD B-side要裝設OES,所以,11/28 中午12:00以後,暫停

    使用,11/29早上8:00以後開放使用。

 

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