奈米中心公告

 

公告日期:1031117

 

主旨:多腔體電漿蝕刻系統(P5000E)將於11/20-11/24暫停開放使用。

說明:

    多腔體電漿蝕刻系統(P5000E)將於11/20-11/24,因進行冷卻水管路改善工

  程,故暫停開放使用。

 

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