奈米中心公告

公告日期:1030808

主旨:BCl3鏽蝕需更換下列氣體管線,氣體停氣通知。

說明:

因先前受BCl3噴濺鏽蝕,預計81209:00停止供應ArN2OCH4NF3SF6

CF4/O2CF4,進行管路更換。預計81216:00開始供應,不便之處請見諒。

如施工進度提前或延後,將另行通知

 

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