奈米中心公告

 

公告日期:1030626

 

主旨:BCL3SiH4SiH2Cl2Cl2停止供應

說明:

1. BCL3因管路腐蝕造成氣體洩漏,全面停止供應。

2. SiH4SiH2Cl2Cl2管路因BCL3氣體洩漏遭腐蝕,關閉部分供應管路,影響設備如下:

   R116: HDP-RIEPoly-Si RIEICP-RIE

   R121: LPCVD

   R146室: ICP-RIE

3. 奈米中心將盡快修復,造成不便,敬請見諒。

 

    奈米中心   廠務組啟