儀器代工收費標準 & 平均交件時間      

項次 儀器 服務細項 費標(現金) 備註 平均等待交件時間
每4個月更新1次
最近更新日期 :2017/09/20
學校單位 非營利事業單位 營利事業單位
1 濕式工作台(Wet Bench) RCA Cleaning (3”)&(4”) 1800(/) 1800(/) 2000(/) 貴儀無經費補助,請現金付費

 

 

 

 

 

 

平均等待交件時間 :

1週

Initial H2SO4 (3”)&(4”) 700(/) 700(/) 800(/)
Etching poly 700 700 800
Etching Al 500 500 500
BOE Etching 300 300 300
HF Dip & Rinse 100 100 100
ACE 3”(600C.C)& 500 500 600
ACE 4”(1200C.C)
2

氧化擴散系統 B

代工費 900元/ 900元/ 900元/ 貴儀核可項目,請上網預約(不含Wafer及石英管)

 

 

 

平均等待交件時間 :

1週

開機費+製作費 1500/ 1900/ 2000/
3

低壓化學氣相沉積系統 (LPCVD)

代工費 900元/次 900元/次 900元/次 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

 

 

 

 

 平均等待交件時間 :

1~2週
(依實際收件排程而定)

A爐 Poly-Si開機費 1000元/次 1500元/次 2000元/次
Poly-Si(SiH4製程in-situ PH3製程)製作費 100元/分 100元/分 100元/分
B爐 Poly-Si開機費 1000元/次 1500元/次 2000元/次
Poly-Si(SiH4製程)製作費 100元/分 100元/分 100元/分
C爐 Si3N4開機費 1000元/次 1500元/次 2000元/次
Si3N4(low stress 溫度850°C) 240元/分 240元/分 240元/分
Si3N4(一般製程溫度800°C) 140元/分 140元/分 140元/分
D爐 TEOS開機費 1000元/次 1500元/次 2000元/次
TEOS製作費 100元/分 100元/分 100元/分
4 電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) 代工費 900元/2時 900元/2時 900元/2時 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

平均等待交件時間 :

1週

開機費 2070/ 2300/ 2500/
製作費沈積 SiO2,Si3N4 2070/ 2300/ 2500/
5

雷射光罩製作系統 Ι

(雷射圖形產生系統 Ι)

圖檔處理費 1000/時 、片 1000/時 、片

12000元起~

依個案報價

貴儀核可項目,請上網預約

 

 

平均等待交件時間 :

3

現場看圖費 1000/時 、片 1000/時 、片
4"玻璃光罩製作 7000 10000
5"玻璃光罩製作 8000 11000
6

雷射光罩製作系統Ⅱ(DWL-200)

(雷射圖形產生系統Ⅱ)

圖檔處理費 1000/時 、片 1000/時 、片

15000元起~

依個案報價

貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

 

平均等待交件時間 :

3

現場看圖費 1000/時 、片 1000/時 、片
4"玻璃光罩製作 9500 12000
5"玻璃光罩製作 11000 13000
6"玻璃光罩製作 15000 17000
7 光罩對準曝光機(Mask Aligner) 代工費(不須對第二道mask) 900(3片以內) 900(3片以內) 900(3片以內) 貴儀核可項目,請上網預約(不含Wafer Mask)

 

 

 

平均等待交件時間 :

1週

(依送件的排程狀況而定)

代工費(須對第二道mask) 1400(3片以內) 1400(3片以內) 1400(3片以內)
晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5")、晶片(3")紫外光曝光(不包含WaferMask材料) 1200/ 1200/ 1400/
8

雙面光罩對準曝光機

(Double Side Mask Aligner)

代工費(不須對第二道mask) 900元(3片以內) 900元(3片以內) 900元(3片以內) 貴儀核可項目,請上網預約


平均等待交件時間 :
1週
代工費(須對第二道mask) 1400元(3片以內) 1400元(3片以內) 1400元(3片以內)
費用 (片) 1200 1200 1400
含晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準、晶片紫外光曝光(不含Wafer及Mask)
9

複晶矽活性離子蝕刻系統

(Poly-Si RIE)

代工費

900/2hr 900/2hr 900/2hr 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :
1週
開機費 1600/ 1600/ 2200/
製作費(Poly Si蝕刻) 1600/ 1600/ 2200/
10

介電薄膜活性離子蝕刻系統

(RIE 200L)

代工費 900/2hr 900/2hr 900/2hr 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :
1週
開機費 2300/ 2300/ 2600/
製作費矽化合物蝕刻(SiO2,SiNx) 2300/ 2300/ 2600/
11 高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE) 代工費 900/2hr 900/2hr 900/2hr 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :
1週
開機費 2300/ 2300/ 2600
製作費(Al金屬蝕刻) 2300/ 2300/ 2600
12 熱阻絲蒸鍍系統(Thermal Coater) 代工費 900/2hr 900/2hr 900/2hr 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

開機費 4400 4950 5500
5KA以下材料費 1100 1100 1100
5KA以上至10KA以下材料費 2200 2200 2200
13

雙電子槍蒸鍍系統 A (E-Gun A)

雙電子槍蒸鍍系統 B (E-Gun B)

代工費 900元/次 900元/次 900元/次 貴儀核可項目,請上網預約(不含貴重金屬)

 

 

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

開機費 5500 6600 7700
材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備
14 真空濺鍍系統 A (Sputtering System A) 代工費 900元/ 900元/ 900元/ 貴儀核可項目,請上網預約(不含貴重金屬)

 

 

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

開機費 6600 7700 9900
材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備
15 真空濺鍍系統 B (Sputtering System B) 代工費 900元/次 900 900 貴儀核可項目,請上網預約(不含貴重金屬)

 

 

平均等待交件時間 :

1~2週
(依送件的排程狀況而定)

開機費 6600 7700 9900
材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備 另計,貴重金屬自備
16 高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀(SEM S-4700I) 開機費

100元/小時

1000元/時 1500元/時 貴儀無經費補助,請現金付費

 

 

 

平均等待交件時間 :

有執照者自行操作, 交件時間為實際送件後當日即可帶回

樣品表面鍍膜

50/分

150元/分 150元/分
EDS 每片加收

50

150 150
17 冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器(SEM SU-8010) 代工費 900/3hr 900/3hr 900/3hr 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

 平均等待交件時間 :

依照個人需求預約時段, 使用者於預約時間做實驗, 交件時間為實際送件後當日即可帶回, 平均預約時間為1-2週

開機費 2500/ 4500/ 5500/
樣品表面鍍膜 500/分 600/分 800/分
EDS 每片加收 500 600 800
研磨機(平面) 500/片 800/片 1000/片
研磨機(側面) 3500/2hr 5500/片  6500/片
18 展阻量測系統 委託操作

0/(校內)

1000/()

3500/ 4000/ 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

 

平均等待交件時間 :

2週
(視SEM業務量而定)

測量點數超過50點每點加收 20 20元 20
試片研磨費

500/

500/

500/

11。32' & 17'加收研磨費 500/ 1000/ 1000/
19 四點探針 開機費 100 130 150 貴儀無經費補助,請現金付費

 

 

平均等待交件時間 :

3天

每片 50 100 120
20 橢圓測試儀  自行操作(/小時) 1000 1000 1000 貴儀無經費補助,請現金付費

 

 

平均等待交件時間 :

1~2週

委託操作(/小時) 1800 2400 3000
21 聚焦離子束與電子束顯微系統(FIB) 自行操作 3500/ 5000/ 7000/ 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :

依照個人需求預約時段, 使用者於預約時間做實驗, 交件時間為實際送件後當日即可帶回, 平均預約時間為1-2週

委託操作 5500/ 6000/ 8000/
EDS 600/ 600/ 600/
22 I-line光學步進曝光機(I-line Stepper)

代工費

(一道mask, 3片以內)

900 900 900 貴儀核可項目,請上網預約

 

 

平均等待交件時間 :

1週

費用

(基本收費以10分鐘為最小單位)

150/ 150/ 300/
23 多腔體電漿蝕刻系統(P5000E) 代工費 900元/2hr 900元/2hr 900元/2hr 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :

1週

製作費 3500 3500 4000
24 原子層化學氣相沉積系統(ALD) 代工費 900元/件 900元/件 900元/件 貴儀核可項目,請上網預約

平均等待交件時間 :

1~2週

製作費 3000/ 3500/ 5000/
材料費

Al: 35元/cycle    Hf: 45/cycle   

 Ti: 45/cycle    Zr: 45/cycle

25 矽深蝕刻系統(Si Deep-RIE) 代工費 900元/2小時 900元/2小時 900元/2小時 貴儀核可項目,請上網預約  
開機費 3500/次 3500/次 4200/次
製作費 3500/時 3500/時 4200/時
26 全光譜反射式膜厚量測儀
(Reflectometer)
代工費 900元/次 900元/次 900元/次 貴儀無經費補助,請現金付費

平均等待交件時間 :

1週

開機費 600 850 1000
每片五點內 150 360 500
每超過一點加 120 180 250
27 電子槍蒸鍍系統(電子系 E-Gun) 代工費 900元/次 900元/次 900元/次 貴儀無經費補助,請現金付費  
開機費 5000 6000 7000
材料費 另計

                                                                                                                                                                                                                                                  此收費標準於104/1/1開始實施

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

                                                                                                                                        此收費標準於97/1/1開始實施