NFC國立交通大學奈米中心儀器訓練辦法

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(交大電子系)半導體教學實驗室申請流程說明

 

為維護固態電子系統大樓內各使用者之安全以及避免發生工安事件申請自行操作儀器設備者一律需通過奈米中心工安課程才可再提出非奈米中心儀器之使用權限申請

 

區域:固態電子系統大樓219R、220R、221R、222R潔淨室

此區域限交通大學電子工程學系才可申請,且本流程依據交通大學電子工程學系規定辦理

 

注意事項: 

 ◎使用電子教學實驗室內儀器者請務必看此-->公告

 ◎自工安課程通過日起算一年內,若無考核過任何機台者 ,所送之所有申請表,一律由本中心集中作廢處理。 

 ◎磁卡有效期限:

  1.毎年年底需上工安復訓(會公告復訓時間),磁卡才不會被停權。

  2.磁卡一律設定到每年12月31日止,若需延長使用期限,校內人士請攜帶學生證或有身分證明之資料,校外人士請   

      繳交1,000元至奈米中心何小姐處辦理

 

子教學實驗室內機台如下:

濕式工作台(Wet Bench)、黃光室設備(考核含光阻塗佈機、光罩對準曝 光機、加熱器、顯影清洗)、高溫爐管系統、電子鎗蒸 鍍系統(E-Gun)、薄膜測厚儀(alpha stepper)、光學薄膜 測厚儀、真空濺鍍系統(Sputter)、 PECVD(PD240)、 PECVD(Lee)、LPCVD(Lee) (申請使用高溫爐管系統以及LPCVD(Lee)者,需先通過教學實驗室內Wet Bench使用資格,才可以申請)

奈米中心磁卡

申請程序

(1).請填寫非奈米中心儀器操作訓練申請表後將表單拿至固態電子系統大樓2F何小姐,待教學實驗室負責教授核章後,

      即可由合格訓練員陪同並持此表單於進入潔淨室內訓練再送電子系許俊生先生核章。(申請表之各項簽章並備註日

       期,各項簽核日期不可同一天)

(2).申請表全部簽核完畢後,再送至固態電子系統大樓2F何小姐磁卡會於收到申請表後3天(不含假日) 開啟權限

(1).請繳交下列資料並依照奈米中心儀器申請程序申請。

      (a).基本資料表 (請張貼清楚的照片)

      (b).非奈米中心儀器操作訓練申請表 (此申請表之儀器設備管理人、訓練員、檢定員請找電子系許俊生先生核章)

      (c).使用規則同意書

      (d).半導體相關實驗課程證書 or 半導體實驗成績單影本 or 操作機台或工廠相關實驗經驗相關證明 or 具有實驗經驗

            並曾做過之相關論文、專題相關證明 or 與交大有合作計畫之證明文件

      (e).(學生不需繳交)-身份證明文件影印本 (文件內容須有職稱及聘雇日期)

      (f).(學生不需繳交)-學歷證件影本

(2).申請完成後,門禁磁卡會於後 完成程序後3天(不含假日) 開啟權限

備註

(1).上述文件請於上班時間至固態電子系統大樓2F何小姐辦理。

(2).申請自行操作儀器程序完成後,其門禁磁卡權限只有周一至周五8:00~17:00時間可使用。如需擁有24小時(包含假日)磁

     卡使用權限,請填寫非奈米中心儀器設備申請24小時操作同意書,並請參照各儀器設備申請24小時自行操作實作次

     規定填寫,簽核完後再將表單送至何小姐處提出申請文件審核通過後,會於奈米中心網頁24小時通過公告通過

     單,磁卡即可使用。