NFC國立交通大學奈米中心儀器訓練辦法

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實驗室一般守則

                97.08.27

 1、非必要勿停留在潔淨區域內。
 2
、勿將手及頭伸入laminar flow中,尤其勿在wafer之上。
 3
、穿戴實驗衣帽進入潔淨室,帽子將頭髮全部包住,勿穿實驗衣到非潔淨區。
 4
、勿在潔淨室內踏步來回走動。
 5
、隨時保持整潔,勿將垃圾留給別人,棉花棒、廢棄物勿隨手丟,應置入垃圾桶內。
 6
、勿將酸及有機溶劑混合傾倒,以免爆炸。
 7
、各種酸液倒入規定處,以便中和後排放。
 8
、有機溶劑分別倒入容器中儲存,勿倒入排水系統中。
 9
、勿用手觸及wafer勿對著它呼吸、咳嗽、說話。
10
、金屬及塑膠鑷子勿觸及高溫爐任何部份,以免污染高溫爐。
11
、勿觸動別人的儀器、勿任意扳動任何開關,以免污染高溫爐。

12
、勿將金屬、有機物、非矽物質或指定之雜質氣體放入高溫爐,以免污染,若有特殊要求,應

        先徵求教授或技術人員之意見。再採取措施防範污染,若已污染應告知技術人員處理,清洗

        或更換石英管。
13
、實驗進行中不得離開現場。

14、儀器設備進駐實驗室需提出申請,核可後方可遷入實驗室。

15、實驗中遇事故災害或人員事故災害依規定皆要填報災害通報表,交中心工安人員呈報學校環

        安中心。

16、不得自行攜帶化學藥品,進實驗室。

17、化學藥品應依規定設置標示圖。

18、實驗完要離開現場應確認已開關水、電、氣等設施。