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儀  器  委  託  代  工  申  請 

儀器代工收費標準

申請項目

機台 下載表格 負責人

儀器委託代工申請

1.濕式工作台

Word ODF

 賴玟

2.全光譜反射式膜厚量測儀

Word ODF 賴玟
3.低壓化學氣相沉積系統 Word ODF 賴玟
4.氧化擴散系統 Word ODF  林聖欽

5.光罩製作系統 Ι (射圖形產生系統 Ι)

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ODF

  黃國華

6.光罩複製機

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ODF

 黃國華

7.光罩對準曝光機

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ODF

 趙建允

8.紅外線光罩對準曝光機  

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ODF

  趙建允

9.負光阻顯影定影機&光阻塗佈機

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ODF

 趙建允

10.多腔體電漿蝕刻系統 Word ODF    胡進章

11.複晶矽活性離子蝕刻系統

Word ODF 

  胡進章

12.介電薄膜活性離子蝕刻系統

Word ODF 

  胡進章

13.電漿輔助化學氣相沉積系統 Word ODF     賴玟
14.原子層化學氣相沉積系統 Word ODF      倪月珍
15.I-line光學步進曝光機 Word ODF        蔡慶祥

16.雷射光罩製作系統Ⅱ (雷射圖形產生系統Ⅱ)

Word

ODF  

  蔡慶祥

17.高密度活性離子蝕刻系統

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ODF

 胡進章

18.熱阻絲蒸鍍系統  

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ODF

  林聖欽

19.雙電子槍蒸鍍系統

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ODF

 林聖欽

20.真空濺鍍系統

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ODF

 倪月珍 / 詹佳期

21.聚焦離子束與電子束顯微系統

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ODF

  劉悅恩

22.展阻量測系統

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ODF

  范秀蘭