NFC國立交通大學奈米中心相關文件下載

奈米中心首頁 儀器訓練申請 儀器委託代工申請 其他文件

儀  器  委  託  代  工  申  請 

儀器代工收費標準

申請項目

機台 表格 負責人

儀器委託代工申請

1.濕式工作台

DOC檔

 賴玟

2.全光譜反射式膜厚量測儀

DOC檔 賴玟

3.氧化擴散系統

DOC檔

 林聖欽

4.雷射光罩製作系統 Ι (射圖形產生系統 Ι)

DOC檔

  黃國華

5.光罩複製機

DOC檔

 黃國華

6.光罩對準曝光機

DOC檔

 趙建允

7.紅外線光罩對準曝光機  

DOC檔

  趙建允

8.負光阻顯影定影機&光阻塗佈機

DOC檔

 趙建允

9.多腔體電漿蝕刻系統 DOC檔   胡進章

10.複晶矽活性離子蝕刻系統

DOC檔

  胡進章

11.介電薄膜活性離子蝕刻系統

DOC檔

  胡進章

12.電漿輔助化學氣相沉積系統 DOC檔   賴玟
13.原子層化學氣相沉積系統 DOC檔   倪月珍
14.I-line光學步進曝光機 DOC檔    蔡慶祥

15.雷射光罩製作系統Ⅱ (雷射圖形產生系統Ⅱ)

DOC檔

  蔡慶祥

16.高密度活性離子蝕刻系統

DOC檔

 胡進章

17.熱阻絲蒸鍍系統  

DOC檔

  陳悅婷

18.雙電子槍蒸鍍系統

DOC檔

  陳悅婷

19.真空濺鍍系統

DOC檔

 陳悅婷 / 詹佳期

20.聚焦離子束與電子束顯微系統

DOC檔

  林聖欽

21.展阻量測系統

DOC檔

  范秀蘭